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※高精度、大口径平面元件检测适用范围广
※特长:
■适用于大口径测量
■精密相移技术应用
■相移软件分析系统
■遥控操作、复位、变焦、对准切换
※用途:
■高精度平面元件的无损测量
■元件面形分析、光学数据处理
规格:
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技术指标 |
参数值 |
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最大测量口径 |
Φ300mm |
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测量方式 |
菲索干涉原理 |
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标准参照镜面形精度 |
p-v:优于λ/10 |
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连续变焦倍数 |
3倍 |
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光源 |
专业稳频HE-Ne激光器 |
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波长 |
632.8nm |
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电源 |
210~230V 40~60Hz |
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最佳工作温度 |
20°C~25°C |
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尺寸 |
1200×1100×2000mm |
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重量 |
约800KG |
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