利用精密相移技术,使用专门算法从干涉条纹
中还原出被检件的波面信息。可输出P-V值、
RMS值、等高图、三维立体图、三维网格图、
X-Y剖面图、干涉条纹图、Zernike多项式、
Seidel像差分析、MTF(光学传递数)、PSD(
功率谱密度)、PSF(点扩散函数)、波前梯
度
● 相移器及控制器
● 台式PC机
● 彩色喷墨打印机
● 分析系统软件
● 实时观测
● 面型数据的多种分析显示方式
● 适用于高精度检测,重复精度高
● 数据的保存、打印及检索