|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
OSI－10TP激光平面干涉仪
|
| |
|
|
|
|
| |
产品特点： |
|
|
|
|
|
|
| |
五倍放大镜头
结构紧凑,体积小型化
检测头部可升降、可旋转
测量精度高，重复性好 |
|
|
| |
应用范围： |
|
|
|
|
|
|
| |
检测小口径光学元件的面形精度 |
| |
|
|
|
|
|
|
|
| |
|
|
|
|
|
|
技术指标 |
|
参数值 |
|
|
|
|
|
|
|
测量原理
|
|
菲索干涉原理 |
|
|
|
|
|
|
|
显示方式 |
|
CCD显示 |
|
|
|
|
|
|
|
标准参照镜表面精度 |
|
p-v：优于λ/20 |
|
|
|
|
|
|
|
最大工作口径 |
|
Φ10mm |
|
|
|
|
|
|
|
最小全口径测量 |
|
Φ2mm |
|
|
|
|
|
|
|
光源 |
|
He-Ne激光器 |
|
|
|
|
|
|
|
波长 |
|
632.8 nm |
|
|
|
|
|
|
|
监视器 |
|
9" |
|
|
|
|
|
|
|
电源 |
|
AC210～230V
50～60Hz |
|
|
|
|
|
|
|
最佳工作温度 |
|
20°C～25°C |
|
|
|
|
|
|
|
尺寸 |
|
260×150×410mm |
|
|
|
|
|
|
|
重量 |
|
约10Kg |
|
|
|
|
|
|
|
| 注:如有更改以实物为准 |
| |
|
| |
|
| |
|
|
|
|
