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OSI－200XP激光平面干涉仪
 
 
主要功能及特点：
 

   平面元件高精度无损检测
   精密相移技术应用
   遥控定位方便快捷
   适用于大口径高精度检测
   国际权威检测设备定标与对比
 
应用范围：
    透镜、棱镜等光学元件表面精度测量
  晶体、光盘、磁头等元件表面精度测量
  金属、塑料、陶瓷、硬盘等元器件表面精度测量
   

 
技术指标：		  
 

  技术指标   参数值
  测量原理   菲索干涉原理
  标准参照镜表面精度   p-v：优于λ/20
  测量重复性精度   λ/100（3δ）
  连续变焦倍数   3倍
  光源   He-Ne激光器
  波长   632.8 nm
  有效光束直径   Φ200 mm
  电源   210～230V 40～60Hz
  最佳工作温度   20°C～25°C
  尺寸   1020×770×337mm
  重量    约150Kg
注:如有更改以实物为准
 
主要品质保障设备：		  
  ●WYKO 24"双端口平面相移干涉仪
  ●WYKO RST PLUS表面轮廓仪
  ●ZYGOGPIXPHR4"球面相移干涉仪