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OSI-500xp
OSI-500xp激光平面干涉仪
主要功能:
1、平面元件高精度元损测量
2、精密相移技术应用
3、双端口检测适用面广
4、配置相移软件分析系统
5、适用于大口径高精度检测
技术指标:
技术指标
参数值
测量原理
菲索干涉原理
标准参照镜面形精度
p-v:优于λ/10
测量重复性精度
λ/100(3δ)
连续变焦倍数
3倍
光源
He-Ne激光器
波长
632.8nm
端口1有效光束直径
Φ120mm
端口2有效光束直径
Φ500mm
电源
210~230V40~60Hz
最佳工作温度
20°C~25°C
尺寸
1720×1445×765mm
注:如有更改以实物为准