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OSI-500xp激光平面干涉仪
 
 
主要功能:
 

  1、平面元件高精度元损测量
  2、精密相移技术应用
  3、双端口检测适用面广
  4、配置相移软件分析系统
    5、适用于大口径高精度检测


 
技术指标:
 
 

  技术指标   参数值
  测量原理   菲索干涉原理
  标准参照镜面形精度   p-v:优于λ/10
  测量重复性精度   λ/100(3δ)
  连续变焦倍数   3倍
  光源   He-Ne激光器
  波长   632.8nm
  端口1有效光束直径   Φ120mm
  端口2有效光束直径   Φ500mm
  电源   210~230V40~60Hz
  最佳工作温度   20°C~25°C
  尺寸   1720×1445×765mm  
注:如有更改以实物为准