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OSI－75TQ激光球面平面干涉仪
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产品特点： |
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光学表面高精度无损检测
结构紧凑、设计合理
操作简便、使用流畅
对准光路和成像光路的电子切换
通过国际权威设备测试与对比 |
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应用范围： |
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平面元件表面面形精度测量
球面元件表面面形精度测量
球面元件曲率半径测量
晶体元件内部均匀性测量 |
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技术指标 |
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参数值 |
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测量原理
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菲索干涉原理 |
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标准参照镜表面精度 |
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p-v：优于λ/20 |
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显示方式 |
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CCD显示 |
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球面参照镜表面精度 |
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p-v：优于λ/15 |
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光源 |
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He-Ne激光器 |
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波长 |
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632.8 nm |
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最大测量口径（平面） |
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Ф75mm |
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电源 |
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210～230V
40～60Hz |
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最佳工作温度 |
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20°C～25°C |
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尺寸 |
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437×382×1294mm |
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监视器 |
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9" |
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重量 |
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约65Kg |
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| 注:如有更改以实物为准 |
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●精密数显导轨
●特制托架
●球面参照镜F0.8
●球面参照镜F1.0 |
●球面参照镜F1.5
●球面参照镜F2.0
●球面参照镜F3.0
●球面参照镜F5.6 |
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●WYKO 24"双端口平面相移干涉仪
●WYKO RST PLUS表面轮廓仪
●ZYGOGPIXPHR4"球面相移干涉仪
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标准平面参照镜：平面检测适用
标准球面参照镜F0.7,F1.0,F1.5,F2.0,F3.0,F5.6：球面检测适用
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F数
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测量半径范围 /mm
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最大测量口径 /mm
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凸
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凹
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凸
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凹
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F0.8
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34.51
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215.49
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43.10
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206.90
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F1.0
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38.5
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211.5
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38.5
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211.5
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F1.5
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87.0
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163
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58
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108.7
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F2.0
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116.2
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133.8
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58.1
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66.9
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F3.0
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200.2
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49.8
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66.7
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16.6
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F5.6
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387
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－
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69.1
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－
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-假定被检元件厚度为零，会得到以下数值
-可检测的凸面或凹面曲率半径取决于表盘尺寸及所选择的项目特征 |
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