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OSI-75TQ-Ⅱ激光球面干涉仪
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产品特点： |
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a. 成像质量好
b. 美观, 实用
c. 检测效率高
d、对准光路和成像光路的电子切换
e、通过国际权威设备测试与对比 |
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应用范围： |
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平面元件表面面形精度测量
球面元件表面面形精度测量
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技术指标 |
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参数值 |
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测量原理
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菲索干涉原理 |
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标准参照镜表面精度 |
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p-v：优于λ/20 |
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球面参照镜面形精度 |
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p-v：优于λ/15 |
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最大工作口径(平面) |
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Φ75mm |
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光源 |
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He-Ne激光器 |
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波长 |
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632.8 nm |
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监视器 |
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9" |
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电源 |
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210～230V
40～60Hz |
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最佳工作温度 |
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20°C～25°C |
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尺寸 |
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800×650×1190mm |
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重量 |
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约100Kg |
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| 注:如有更改以实物为准 |
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●精密数显导轨
●特制托架
●球面参照镜F0.8
●球面参照镜F1.0 |
●球面参照镜F1.5
●球面参照镜F2.0
●球面参照镜F3.0
●球面参照镜F5.6 |
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●WYKO 24"双端口平面相移干涉仪
●WYKO RST PLUS表面轮廓仪
●ZYGOGPIXPHR4"球面相移干涉仪
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标准平面参照镜：平面检测适用
标准球面参照镜F0.7,F1.0,F1.5,F2.0,F3.0,F5.6：球面检测适用
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F数
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测量半径范围 /mm
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最大测量口径 /mm
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凸
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凹
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凸
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凹
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F0.8
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34.51
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215.49
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43.10
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206.90
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F1.0
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33.9
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216.1
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33.9
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|
216.1
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F1.5
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80.4
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169.6
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53.6
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113.1
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F2.0
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100.5
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149.5
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50.3
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74.8
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F3.0
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170
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80
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56.7
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26.7
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F5.6
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353.3
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－
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63.6
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－
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-假定被检元件厚度为零，会得到以下数值
-可检测的凸面或凹面曲率半径取决于表盘尺寸及所选择的项目特征 |
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