|
OSI-75TP激光平面干涉仪对高低光圈的判别方法
|
| OSI-75TP激光平面干涉仪通过缩小空气间隙观察条纹变化的方法来判断被检件是高光圈还是低光圈。 |
|
|
一般情况下高低光圈的识别
低光圈：当空气隙缩小时，条纹弯曲方向和移动方向如图1.a所示，可以看见条纹从边缘向中心移动。
高光圈：当空气隙缩小时，条纹弯曲方向和移动方向如图1.b所示，可以看见条纹从中心向边缘移动。
|
|
|
|
光圈数少时高低光圈的识别
低光圈：当空气隙缩小时，条纹弯曲方向和移动方向如图2.a所示，可以看见条纹移动方向与条纹弯曲方向
一致。
高光圈：当空气隙缩小时，条纹弯曲方向和移动方向如图2.b所示，可以看见条纹移动方向与条纹弯曲方向
相反。
|
|
|
|
