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使用激光平面干涉仪检测玻璃平板不平行度的原理如图1.所示。卸去干涉仪的标准平板，把待测玻璃平板放在准直物镜下面的可调水平工作台上。使准直物镜射出的平行光大致垂直入射到待测平板表面上，光线经平板上、下两表面反射后，进入干涉仪，形成等厚干涉条纹。若待测件的玻璃均匀性、面形质量均好，将形成平行等距的直条纹。若Δh表示平板两端厚度差，由图1.可知（λ＝0.6328mm，b单位：mm），
2nΔh=2nbθ=mλ; 则平板的不平行度为: θ＝(mλ/2nb)×206265 （式1）
式中，n－玻璃平板折射率；m－长度b范围内干涉条纹数。
玻璃平板楔角方向应垂直干涉条纹方向：当沿垂直条纹方向对平板边缘加热时，干涉条纹凸向玻璃平板的薄端。
若待检件长度b的测量标准偏差为σb，干涉条纹的计数标准偏差为σm ，则可得平板的不平行度的标准偏差为: σθ=θ[(σm/m)2-(σb/b)2]]1/2 （式2）
一般情况下，σθ约为0.05～0.1mm；σm以目视估计可精确到0.2条纹，如用目镜测微器测条纹数，则σm还可小些。该法的测量标准偏差σθ也为零点几秒。
分析式1.可得本方法测不平行度范围：若干涉场中条纹数m≤1就不易测了，则与之对应的最小可测角θmin=λ/2nb；最大可测角θmax，由人眼分辨并尚能计数的条纹间距amin=b/mmax≥0.5mm确定。玻璃平板不平行度θ的测量范围为1"～1'量级。
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