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使用菲索型激光干涉仪检测光学玻璃光学均匀性
    光学玻璃的光学均匀性是指同一块光学玻璃内部的折射率的不一致性,常用其内部的折射率的最大差值表示。光学玻璃的光学均匀性是非常重要的玻璃质量标准,因为它直接影响透射光学系统的波面质量,改变系统的波像差。随着现代科学技术和国防事业的发展,对一些透射光学系统的成像质量要求越来越高,迫切需要有高精度的光学玻璃光学均匀性的检测手段。光学玻璃的光学均匀性检测有定性和定量两类方法,我们可以使用菲索型激光干涉仪对光学均匀性进行非接触的高精度定量检测。 如图所示,把被检测的样品玻璃置于菲索干涉仪的参考平面和一标准平面中间,从标准平面反射的光与参考平面反射的光相干涉。如果样品的表面面形是理想的,检测得到的波面质量就反映了样品玻璃的光学不均匀性。
    如令样品的光学不均匀性为△n,检测得到的波相差(峰谷值)为ω(x,y),样品厚度为t,则△n=ω(x,y)/(2t)。
    从理论上来说,直接干涉测量法测量光学均匀性的精度较高,但它要求样品表面质量也很高。如果要检测的光学均匀性的精度为1×10-6,那么对30 mm厚的样品来说,系统的误差(PV值)应小于0.047λ,于是每个面的面形精度都得在λ/25左右。即使是厚度为100 mm样品,如果要求检测精度达到1×10-6,每个面的面形精度也需达到λ/10左右。为避免经常加工高精度的平面,可以精制两块平板作贴置玻璃,检测时在样品的表面涂敷折射率与样品的折射率相差不多的折射液,再把样品夹在两块贴置玻璃中间。